潔凈室溫濕度異常分析與改善

2022-10-26 11:13 昆山清陽凈化系統工程有限公司

某半導體企業無塵車間出現了溫濕度異常，怎么去分析與改善這種情況呢？今天清陽小編帶大家了解一下半導體潔凈室溫濕度異常分析與改善；

某半導體無塵車間廠務值班室4月以來接組裝西區產線電話,反饋個別區域溫度偏高。值班人員分別作以下動作：進線調節風閥；調整AHU送風溫度；調整AHU頻率；檢查回風等動作。現對改善效果及日常潔凈室溫濕度控制問題分析方法及節能運行狀況進行匯總分析，以提升運行值班人員處理問題效率和節約潔凈室空氣調節運行能耗。

實際測試數據如下：

如上述統計可以看出位于組裝西區靠近組裝辦公室的區域溫濕度比較差一直處于超標狀態，并且之前的溫濕度調節改善動作有效性比較差。該問題在滁州廠區潔凈室環境控制具有代表性,故作分析如下供參考:

   

原因分析	效果確認	影響	責任人
A外氣溫度偏高低	外氣溫濕度無劇烈變化	小
B熱水溫度	熱水溫度35-40℃	小	運行值班
C冷凍水溫度	冷凍水溫度7-12℃	小	運行值班
D高效濾網	待測試風速確認是否堵塞,無風量	大	TXW
E調節MAU濕度設定	送風溫度14℃，濕度94%	小	運行值班
F調節AHU溫度設定	送風溫度16.5℃	小	運行值班
G溫濕度傳感器	定期比對	小	運行值班
H送風閥門	需要通過風速測試后確認是否開啟正確	大	運行值班
I AHU/MAU	組裝區域AHU/MAU已經全部開啟至滿負荷狀態，存在容量缺口	大	工程改造
J回風濾網	定期檢查清洗	大	運行值班
K回風是否通暢	1.回風墻側無堵塞 2.產線中部區域遠離回風口，確實有空氣流通不暢狀況	小 大	運行值班 維修
M溫濕儀量測	使用廠務現有溫濕儀進行量測，	小	運行值班
N 員工技能	溫濕度調節由值班長和能管員進行調節	小	運行值班

針對影響大的4種原因的確認和糾正措施：

一.送風閥門的開啟確認：經過在夾層檢查確認目前送風閥門有以下幾種狀況：

狀況1．風閥開啟狀況不在開的位置，閥芯開啟狀況待確認風量。

狀況2.開啟過度：從外觀來看閥門處于過度開啟位置，閥芯狀況如何需要量測風量確認

狀況3.閥門表觀看上去是在關閉位置，先調整到開啟位置，再確認送風量。

二. 高效濾網堵塞：

現象:在確認風閥開啟正常狀況下，用風速儀測試風速比較低，或沒有風速，此種狀況多數為高效堵塞或吊柜機組運行異常。

針對以上四種狀況糾正措施：

請購風速儀對潔凈室的高效出風口逐臺測試風速。找出風速低的風口，通過對講機通知夾層的人員確認風閥的開啟狀況。調整后做好標識，便于后續的檢查操作。

存在另一種狀況：風閥開啟調節沒有效果。產生此狀況原因分兩種：

A 風閥閥芯脫落，改善措施：需要拆卸閥門維修。

B 高效堵塞，需要拆卸后檢查更換確認。

糾正措施：

通過更換高效并對比更換前后風速并做好記錄保存作為資料供后續參考。

三．回風是否通暢

        現象1：

     建廠初期設計的回風通道因設備布局和房間的布局調整，已經影響或堵塞導致回

     風不順暢。導致局部區域溫度調節能力減弱。影響環境溫度和潔凈度。

回風濾網堵塞,回風不暢導致區域溫濕度異常.現場測試發現組裝西北側回風堵塞嚴重,正常回風風速:>2.3m/s;

三.回風是否通暢

糾正措施：

A定期檢查清洗回風濾網

B不影響生產情況下移開擋塞物或設備

C確認是否有預留回風地道，安裝調整回風地板

D必要時改建安裝回風道

四.AHU/MAU

現象：

組裝西區空調箱由AHU-2-28；AHU-2-29；AHU-2-30；AHU-2-31；AHU-2-32；AHU-2-34；AHU-2-38及新風機組MAU-2-15組成，風機頻率已經全部開啟到滿頻。系統容量已經滿負荷運轉對潔凈室環境溫度調節只能依靠調整冷凍水溫度維持，增加了冷凍機運行能耗。為此組裝西區安裝了吊柜式空調箱彌補AHU/MAU容量不足。從實際效果來看略有改善沒有徹底解決組裝西區冷負荷容量不足問題。

改善措施：

AHU/MAU調節檢查確認內容如下：

A冷凍水閥門開啟狀況,冷凍水閥門開啟不足將導致冷盤溫度調節能力下降.

B冷凍水過濾器是否堵塞

C冷盤是否結垢,結構影響制冷量

D初中效是否堵塞,堵塞影響送風量,導致空調箱體靜壓過高,增加風機負荷浪費電力

E空調箱進回風閥門開啟確認

F MAU表冷、加熱、預熱、再熱溫度設定是否合理（在后面另單獨分析），如設定有沖突將導致  加濕效果差，同時增加電力、蒸汽能耗。

G 吊柜式空調箱風閥開啟狀況；冷凍水閥門開啟裝開啟狀況；冷凍水Y過濾器是否堵塞。

五：潔凈室溫濕度調節原理及MAU濕度調節與節能

A組裝西區潔凈室溫度調節是：

AHU循環機組將潔凈室的空氣通過回風通道回收至總管進入AHU混合U處理過的新風，

通過表冷器翅片和經過表冷器的冷凍水進行冷熱交換，通過風機加壓后經送風管、

高效過濾器（HEPA）送入潔凈室。

序號	糾正措施	改善前	改善后	完成日期	責任人	確認結果
1	高效濾網風量測試	部分風速無或<0.4m/s	待更換
2	送風閥門開啟狀況確認	部分故障或未開啟	已開啟
3	回風是否通暢	部分堵塞回風風速 <2.5m/s	回風風速 >2.5m/s
4	AHU/MAU狀況檢查	待進行
5	異常原因分析及節能運行資料整理及培訓	資料已整理待培訓

清陽工程是一家專業凈化工程公司，16年專業建設無塵車間、凈化車間、潔凈廠房、gmp車間、無菌車間，我們擁有專業二級施工資質和專業的設計施工團隊，并且有過400多家凈化工程的成功案例，經驗也是很豐富的。電子無塵車間是我們做的比較多的一個行業，涉及各種產品和潔凈度，所以找我們還是具備比較多的優勢的。聯系方式：在線客服或電詢18915730122，我們期待您的洽談合作。