混合潔凈室的特點是什么？-清陽工程

2023-03-08 15:50 昆山清陽凈化系統工程有限公司

潔凈室可以按照潔凈度等級分類，也可以按照產品種類分類，還可以按照氣流流型來分類。而混合流潔凈室就是按照氣流流型分類中的一種。這篇文章給大家介紹這種潔凈室的特點。

 

混合流潔凈室也叫合式潔凈室，為將亂流式和層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈的空氣。

 

a.潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或者ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋，使潔凈度等級級提高到10級以上，可節省安裝運轉費用。此形式需將作業人員的工作區域與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作和品質，ULSI制程常用此種形式。

潔凈隧道有兩個優點：彈性擴充容易、維修設備時可在維修區請以進行。

 

b.潔凈管道（Clean Tuube）：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提高至100級以上。因產品和作業人員及發塵環境隔離，少量送風即可得到良好之潔凈度，可節約能源，不需要人工的自動化生產線最適宜使用。藥品、食品工業及半導體業界均適用。

 

c.并裝局部潔凈室（Clean Spot）：將潔凈室等級10000~100000之亂流潔凈室內的制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上以為生產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

潔凈工作臺：等級Class 1~100級

潔凈工作棚：為在亂流式潔凈室內以防靜電之透明塑料布圍城以小空間，采用獨立的HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高等級的潔凈空間其等級為10~1000級，高度在2.5m，覆蓋面積在10㎡以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。

 

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