百級潔凈室對應的ISO標準是ISO 5級。ISO 14644-1標準對潔凈室的潔凈度等級進行了劃分,百級潔凈室即為其中的ISO 5級。
這一標準是為了有效控制潔凈室內空氣中顆粒物的濃度而制定的,對潔凈室的壓力、溫度、濕度、氣流速度等參數也有明確的要求。例如,室內正壓通常為5~15Pa,溫度應控制在18~25℃,相對濕度為45~65%。同時,對于百級潔凈室,其空氣中允許的最大顆粒物濃度也有具體規定,包括不同粒徑顆粒物的允許數量。因此,在設計和建造百級潔凈室時,需要遵循ISO 5級的相關標準和要求,以確保其達到所需的潔凈度水平。
ISO5級潔凈室的標準是,每立方米內,大于或等于0.5微米的微粒數量應低于3.520個,這與Fed Std.209E標準中的100(百)級潔凈度相當。在ISO5級潔凈室中,我們強烈推薦廣泛采用電離設備,以有效中和靜電。潔凈室內的工作人員必須身著無塵服,這種服裝需全面覆蓋人體的身體、頭部、面部、手部和眼睛,確保無塵環境。在工作站和生產線現場,我們可以觀察到所有離子消除設備的安裝與運作。我們應盡量避免在無塵室內使用可能產生污染的含碳材料以及含有銨基的抗靜電劑材料及其相關產品。由于導電聚合物具備不依賴吸濕性以及在非極性溶劑中清洗時仍能維持其抗靜電性能的優勢,因此在潔凈室中得到了廣泛應用。
在進入ISO5級潔凈室前,物品必須經過嚴格的清洗和二次包裝,隨后通過風淋室進行凈化處理。工作人員佩戴的手套必須完全覆蓋手臂,確保沒有裸露的皮膚。值得注意的是,氨基抗靜電劑材料中的氨基成分可能會對器件表面造成污染,因此乙烯基抗靜電桌墊只能在潔凈室內使用,除非其不含有此類抗靜電劑。此外,未經凈化的普通紙和筆也不得在潔凈室內使用。
為了確保潔凈室的正常運行和產品質量,制造商應配備一名或多名專業的凈化控制工程師,負責處理靜電放電(ESD)問題和去污問題。對于那些體積較大,無法使用雙層袋包裝的設備,在進入潔凈室之前,必須使用70%的非極性清潔劑進行擦拭或用去離子水進行清洗,以確保其表面的清潔度符合潔凈室的要求。
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