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超凈間,亦被稱作無塵室、潔凈室等,其實(shí)是電子和半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)無塵車間的一種習(xí)慣叫法。接下來,小編就給大家詳細(xì)介紹這種車間吧。
原理
超凈間借助高效過濾器對(duì)流入室內(nèi)的空氣予以過濾,過濾材料通常選取靜電纖維、活性炭、高效濾紙等,具備頗高的過濾效率與較低的阻力。經(jīng)過濾后的空氣通過輸送系統(tǒng)傳送至室內(nèi),為保障空氣輸送的潔凈程度,通常會(huì)對(duì)風(fēng)管和送風(fēng)口實(shí)施密封處理。部分超凈間還會(huì)憑借空氣消毒設(shè)備對(duì)輸送至室內(nèi)的空氣進(jìn)行殺菌、滅活操作。
等級(jí)劃分
- 依照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) ISO 14644-1:將超凈間劃分為 1 至 9 級(jí),數(shù)字越小,對(duì)空氣凈化效果的要求越高。
- 依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦 209E 標(biāo)準(zhǔn):將超凈間分為百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)等,同樣數(shù)字越小,對(duì)空氣凈化效果的要求越高。
結(jié)構(gòu)組成
- 凈化空調(diào)機(jī)組:承擔(dān)對(duì)空氣的處理工作,涵蓋過濾、加熱、冷卻、加濕、除濕等環(huán)節(jié)。
- 送風(fēng)管道和回風(fēng)管道:用于空氣的輸送與循環(huán),確保空氣在超凈間內(nèi)實(shí)現(xiàn)均勻分布。
- 靜壓箱:促使空氣在進(jìn)入高效過濾器之前能夠均勻散布,提升過濾成效。
- 高效過濾器:乃是超凈間的核心構(gòu)件,能夠切實(shí)過濾空氣中的微粒、有害氣體、細(xì)菌等污染物。
- 多孔擴(kuò)散板:使過濾后的空氣均勻地?cái)U(kuò)散至超凈間內(nèi),規(guī)避產(chǎn)生氣流死角。
- 超凈間吊頂、隔斷:用于對(duì)超凈間進(jìn)行分隔和封閉,通常采用彩鋼板、不銹鋼板等材料,具有優(yōu)良的密封性與耐腐蝕性。
- 百葉回風(fēng)口和新風(fēng)口:用于回風(fēng)與新風(fēng)的進(jìn)入,保證超凈間內(nèi)的空氣循環(huán)和新鮮空氣的補(bǔ)充。
應(yīng)用領(lǐng)域
- 電子制造:于芯片制造、集成電路封裝、液晶面板生產(chǎn)等流程中,超凈間提供潔凈、無塵的工作環(huán)境,有效規(guī)避電子元件遭受污染和損壞,確保產(chǎn)品的高性能和高可靠性。
- 生物醫(yī)藥:在藥物研發(fā)、疫苗生產(chǎn)、基因工程、細(xì)胞培養(yǎng)等關(guān)鍵環(huán)節(jié)里,超凈間為實(shí)驗(yàn)人員營(yíng)造一個(gè)潔凈、無菌的工作環(huán)境,防止微生物污染和交叉感染,保障藥品和生物制品的質(zhì)量與安全性。
- 食品加工:在食品的包裝、檢測(cè)等環(huán)節(jié),超凈間確保環(huán)境衛(wèi)生,減少微生物污染,保證食品質(zhì)量和安全,延長(zhǎng)食品的保質(zhì)期。
- 航空航天:在航空航天產(chǎn)品的制造和研發(fā)進(jìn)程中,超凈間提供高度潔凈的工作環(huán)境,確保產(chǎn)品質(zhì)量和性能,防止微小的污染物對(duì)精密儀器和設(shè)備造成影響。
建設(shè)和維護(hù)成本
- 建設(shè)成本:超凈間的建設(shè)成本頗高,主要涵蓋凈化空調(diào)系統(tǒng)、高效過濾器、彩鋼板隔斷、防靜電地板等設(shè)備和材料的采購(gòu)費(fèi)用,以及施工安裝費(fèi)用等。建設(shè)成本依據(jù)超凈間的等級(jí)、面積、結(jié)構(gòu)復(fù)雜程度等因素而有所差異,一般而言,百級(jí)超凈間的建設(shè)成本高于千級(jí)、萬級(jí)超凈間。
- 維護(hù)成本:超凈間的維護(hù)成本亦較高,主要包含定期更換空氣過濾器、消毒設(shè)備的維護(hù)和保養(yǎng)、溫濕度控制系統(tǒng)的校準(zhǔn)等費(fèi)用。此外,超凈間的運(yùn)行需要消耗大量的能源,如電力、蒸汽等,這也增添了運(yùn)行成本。
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