無塵車間設計方案

2020-10-13 13:07 昆山清陽凈化系統工程有限公司

無塵車間設計方案

芯片、太陽能光伏芯片無塵車間設計方案。包括以下步驟：

步驟A、無塵車間建造：通過保溫墻板圍成密封空間；在密封空間的頂部設置吊頂，并將進風罩固定于上述吊頂上，然后安裝進風管、排風管和空調機組；

步驟B、除塵；

步驟C、空氣凈化： 通過進風管向無塵車間內部通入過濾凈化后的新風，同時通過排風管將無塵車間內部的空氣排出；

步驟D、鋪設地板：將液態的環氧樹脂傾倒于無塵車間的地面，待環氧樹脂凝固后，使得無塵車間的地面形成水平的環氧樹脂涂層地板。提升了無塵室內部的溫度均勻性，實現了無塵車間的有效保溫。

.根據要所述的無塵車間的施工方法，其特征在于：所述無塵室包括空調機組(1)和由保溫墻板圍成的密封空間，上述密封空間的底部設置有水平支撐臺(3) ，密封空間的頂部設置有進風罩(2) ，該進風罩(2)通過進風管(102)與空調機組(1)連通；進風罩(2)周圍通過排風管(103)與空調機組(1)連通。

.根據權利要求2所述的無塵室的施工方法，其特征在于：所述進風罩(2)為自上而下孔徑漸擴的通道，且進風罩(2)下開口至上開口的高度：密封空間的高度＝1:6 .2～8 .4，進風罩(2)下開口的孔徑:密封空間的寬度＝1:1 .4～2 .7，所述密封空間的頂部設置有至少八個出風口，且上述至少八個出風口圍繞進風罩(2) 周向等間距分布，每個出風口均通過排風管(103)與空調機組(1)連通。

4 .根據權利要求3所述的無塵室的施工方法，其特征在于：所述進風罩(2)的上開口設置有密封板(201) ，上述密封板(201)上設置有至少四組進風口(202) ，每組進風口(202)包括以密封板中心點為圓心周向等間距分布的若干個進風口(202) ，上述至少四組進風口(202)以同心圓形式排布，且越靠近密封板中心點相鄰兩組進風口(202)圍成圓周之間的距離值越小，每個進風口(202)均通過進風管(102)與空調機組(1)連通，且進風管(102)上設置有進風過濾器(101)。

無塵車間，亦稱為潔凈車間，是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。它是污染控制的基礎，控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。由于集成電路芯片、太陽能光伏芯片等在生產時對環境要求非常高，通常需要在無塵的環境下，且控制周圍空氣的潔凈度及溫濕度，才能生產出合格的產品，因此，為了使現有的生產線達到凈化要求，通常要先施工建造一個無塵室。

無塵車間的溫濕度是由組合式凈化空調器控制和調節的。然而，隨著科技日新月異的發展，尤其是集成電路生產技術的發展，集成電路芯片生產的線寬由0 .45微米發展到0 .11微米，甚至由微米級向納米級發展，環境溫度的細微變化即可能影響生產工藝，導致成品率下降；同時，由于其生產工藝對潔凈度的要求很高，使得無塵室內排風量比較大，無塵室內整體溫度的控制比較困難。綜上，這種無塵室需要通過高精度的溫度控制，來消除溫度變化對生產的影響。