無塵車間設計方案之十級無塵車間設計

2020-10-21 08:33 昆山清陽凈化系統工程有限公司

無塵車間設計方案之100級無塵車間設計

本工程以上海市某電子材料公司新建潔凈廠房中無塵車間設計為例, 總凈化面積為1500 平方米, 分為更衣室 1 (gown room)、更衣室 2 (gown room)、化驗室 1 (Wet Labora- tory) 和化驗室 2 (Instrument Laboratory)。實驗室面積雖然不大, 但它是整個車間工藝流程的核心部分, 凈化實驗室能否正常運行, 直接影響到整個產品質量。工程于2020年 年6月完成施工、并全面通過靜態測試驗收投入運行, 到目前為止運行良好。

無塵車間設計要求

按照 FS- 209E 標準 ( FS- 209E 標準見表 1) , 本工程各無塵車間的潔凈等級分別為更衣室 1: Class 4.5 級 ( 1000) ,  更衣室 2: Class 3.5 級 ( 100) , 化驗室 1: Class 4.5 級 ( 1000) , 化驗室 2: Class 2.5 級 ( 10) 。實驗室內裝要求: 無塵車間內隔間吊頂及龍骨須為防腐蝕材料, 所有水泥墻表面涂裝耐腐蝕環氧樹脂防止有可能被化學氣體腐蝕, 所有與回風相接觸的機械元件都必須用不銹鋼材質或者與之耐腐蝕性相當的材料。高效過濾器 ( HEPA) 和超高效過濾器 ( ULPA) 也要有耐腐蝕考慮。

空調要求: 安裝一套新風處理機組, 處理的新風供給潔凈室及安裝在潔凈室內的蒸發罩 ( hood) , 新風回風混合后通過 HEPA/ULPA/FFU ( 空氣處理單元) 送入潔凈室。回風由空氣集中處理機組或干盤管處理。每個房間的空氣 壓力由集中處理單元或 FFU 控制, 根據各房間潔凈度及室內設備、家具的位置選擇布置空氣過濾器的數量和位置, 室內溫度及相對濕度必須可控。各房間均須設置緊急通風

系統。各潔凈室各項具體參數要求見表 2。

按各房間潔凈度需求設置氣閘、風淋室及傳遞箱。

無塵車間設計說明

空調凈化的設計是與工藝的布局、生產的流程密切結合的。不同類型、不同用途的廠房空調凈化系統都各有特點, 下面來介紹此項目的空調凈化系統方案。

化驗室 1, 化驗室 2 都有溫度和濕度控制要求, 空調系統用的新風機組 ( MAU) 和循環空調機組 ( RCU) 的冷媒采用 7～12℃的冷凍水,   加熱采用 0.2Mpa 飽和蒸汽,   加濕采用純水電極式加濕方式。

化驗室 2 潔凈等級為 10 級, 采用新風機組 ( MAU) + 循環空調機組 ( RCU) +超高效過濾器 ( ULPA) 的空調方式。采用的氣流形式為頂部 ( ULPA) 送風, 氣流經高架地板孔洞至回風夾道。ULPA 滿布濾為 100%, 化驗室 2 對NH +、SOx 濃度有要求, 需在循環機組 ( RCU) 內增設化學過濾器。10 級凈化間的氣流流程為: 新回風混合→活性碳濾器→中效過濾器 ( 95%) →表冷器→送風機→消聲器→ 亞高效過濾器 ( 99.97%)  →送風靜壓箱→超高效過濾器( 99.999995%) →潔凈區→高架地板→回風夾道→回風管→ 新回風混合。為避免房間酸性氣體一旦泄漏造成人員傷亡, 設緊急排氣風機。新風接至 MAU- 1 新風機組