芯片萬級潔凈車間裝修工程構成部分和系統解說

2021-01-09 14:27 昆山清陽凈化系統工程有限公司

芯片萬級潔凈車間裝修工程構成部分和系統解說

無塵室的等級分類各有不同， 在設計施工中可根據實際需要來操作。 清陽凈化解析萬級無塵室的系統構成。

萬級無塵室隔間分為三大部分： 更衣室、 千級區和百級區。 更衣室與千級區， 千級區和百級區均設風淋室(airshower) ， 芯片凈化車間與室外設有物品出入通道傳遞箱(passbox) 。 當人員進入無塵室時， 首先要經過風淋室， 對人體所帶的灰塵吹淋， 減少人員帶入無塵室的灰塵， 傳遞箱則是對物品灰塵進行吹淋，達到落塵的效果，風系統、 水系統、 控制系統和其他系統

1、 風系統

系統采用的是全新風空調箱+FFU 系統.

（1） 全新風空調箱結構

（2） FFU: (FAN FILTER UNIT) 即風機和過濾器千級區過濾器采用 HEPA， 過濾效率99. 997%, ， 百級區過濾器采用 ULPA， 過濾效率99. 9995%

2、 水系統

冰水系統分為一次側和二次側。

一次側冰水水溫7-12度, 供給空調箱和風機盤管, 二次側冰水12-17度供給干盤管系統.

一次側冰水和二次冰水為兩個不同的回路, 之間由板式換熱器連接.

板式換熱器原理(現場畫圖) .

干盤管: 不結露的盤管， 因無塵室溫度在22度， 其露點溫度12度左右， 故7度冰水不能直接進入無塵室， 所以進干盤管的冰水溫度在12-14度。

3、 控制系統(DDC)

溫度： 干盤管系統控制

濕度: 空調箱調節通過感測的信號， 控制三通閥開度來調節空調箱盤管進水量

正壓： 空調箱調節, 根據靜壓感測的信號， 自動調節空調箱馬達變頻器的頻率， 從而調節進入室內的新風量.

4、 其他系統

不只是空調系統, 無塵室系統中還包括有真空， 空壓， 純水， 廢水， 二氧化碳系統， 制程排氣系統。

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