無塵車間裝修方案中FFU起到的作用
FFU , 是一個自帶送風機(無殼風機) 的高效過濾器送風口, 它與其專用龍骨系統 、 冷卻盤管(一般為干盤管) 、 加壓風機、 新風系統以及專用燈具共同組成了 FFU 系統。 FFU 的使用方式是,新風有新風空調機處理至所需狀態點后送入,在靜壓箱內與回風混合后經 FFU 的風機加壓后經 HEPA 或 ULPA 送入室內,再經架空地板或側墻回至干盤管,在此經冷(熱)處理后經由回壓機送回至靜壓箱完成循環。 這樣的系統最為常用于有超靜要求的潔凈室, 如大型集成電路晶圓的制造、 尖端顯示器如 TFT、 PDP 等的制造、 硬盤的制造等。 其優點如下:
1、 系統非常靈活, 可隨時調整
因凈化車間的壁板都以天花板格子的模數(如1 2 0 0 * 6 0 0 ) 來布置, 并且由于其特殊的節點構造,潔凈室的壁板可以隨時調整位置, 以此改變房間的布局。 同時如果房間的潔凈度需要調整, 可以通過增減FFU 數量的方法來實現。 這對于通常集中送風的凈化系統來說幾乎是不可能的。
2、 出風均勻穩定
FFU 因自帶風機, 出風均勻而穩定。 避免了集中送風系統各送風口風量平衡的問題。 對于垂直單向流無塵車間尤為有利。
3、 節能顯著
FFU 系統風管很少, 除新風以風管送達外, 大量的回風以小循環的方式在運行, 因此大大減少了風管的阻力消耗。 同時由于 FFU 的面風速一般為 0.35~0.45m/s,過濾器阻力小,FFU 的無殼風機功率很小,新型的FFU 采用了高效率電動機,同時對風機葉輪形狀也進行了改進,其綜合效率以大為提高。 據筆者估算, FFU系統一般可比集中送風的凈化系統節能 30%以上, 使 FFU 系統在二、 三年內就可通過節省電費把增加的初投資部分(與集中送風的凈化系統相比)省回來。
4、 節省空間
因省去了巨大的送回風管, 故可節省安裝空間。 對于層高緊張的改建項目非常合適。 帶來的另一個好處因風管很少空間相對寬敞而使工期縮短。
5、 風口、 燈具、 煙感、 噴淋、 靜電中和器等的合理布局這些潔凈室常用裝置都在上有各自的安裝天花板格子位置, 既合理又美觀。 而在集中送風的凈化系統里這些裝置的布局經常沖突, 吊頂顯得擁擠不堪。
6、 負壓密封
FFU 送風系統的靜壓箱為負壓, 因此即使風口安裝存在泄漏, 也是從潔凈車間向靜壓箱泄漏, 不會形成對潔凈室的污染。FFU 系統也有缺點: 風機數量大, 故障機率大。 且因 FFU 布置在吊頂上, 維修有一定困難。 而集中風系統因設備較為集中, 數量也少, 易于維護。 但這也不完全是缺點: FFU 系統正是因為數量眾多而分散,通常少量的 FFU 出現故障, 并不能對潔凈度造成嚴重的破壞。 甚至可以在對潔凈度幾乎沒有影響的情況下發現并修復故障單元。 而集中送風系統只要一臺 AHU 出現故障, 就會造成大面積的潔凈室停止運行, 對生產的影響很大。 在幾乎所有的項目中, 冷凍機、 空壓機、 純水設備、 水泵、 真空泵搶救無效都可以做到備份, 盡量減少設備故障對生活的影響。 唯獨空調箱的備份幾乎沒用。 FFU 系統則在某種程度上達到了這個目的。
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