電子半導體潔凈廠房內是如何防靜電的

2021-04-28 13:15 昆山清陽凈化系統工程有限公司

電子半導體潔凈廠房內是如何防靜電的

一直以來接到不少客戶對生產車間進行防靜電防護改良咨詢，現跟大家分享一下多年來的經驗，但愿這些方案能給大家帶來幫助，如有不足之處請來電商討。

一、 防靜電目的：防止靜電放電對 ESD 器件的損傷。表現在如下幾個方面：

- 靜電放電 (ESD)引起發光二極管 PN 結的擊穿，是LED器件封裝和應用組裝工業中靜電危害的主要方式。

- 靜電放電可能造成 LED突發性失效或潛在性失效。

- LED極為精細，失效分析難度大，使人容易誤把靜電損傷失效當作其它失效 ,從而不自覺的掩蓋了失效的真正原因。

- ESD以極高的強度很迅速地發生，放電電流流經LED的PN結時，產生的焦耳熱使芯片PN兩極之間局部介質熔融，造成PN結短路或漏電。

二、 無塵車間內防靜電系統的建立：

硬件系統：

－ 人體靜電防護：人體配有繩防靜電腕，良好接地，每天定期測試有效性能。檢查靜電腕與人體皮膚良好接觸， 接地端與地線良好接觸。

－ 設備靜電防護 : 機臺、設備、工具良好接地線（不可與人體靜電地線共用，防止機臺、設備、工具漏電電擊人員） 。

－ 設立 EPA 防護區 :

防靜電區設計原則抑制靜電荷的積累和靜電壓的產生。如設備、儀器、工裝不使用塑料、有機玻璃、普通塑料袋。

1 . 安全、迅速有效地消除已產生的靜電荷，使用有繩防靜電腕防靜電椅、車、箱。

2. 地面 防靜電地面，(防靜電水磨石， 防靜電地板 )1 0^5 Ω ～ 1 0^1 0 Ω ， 敷設地線網。

3.工位 臺面、 工作椅、 凳面應采用 ESD 保護材料。

4. 人體 穿防靜電服、 鞋、 腕等 (1 M) 。

5. 電子潔凈車間內接地設置：

a、 防靜電工作區必須有安全可靠的防靜電接地裝置，地電阻小于4。防靜電地線不得與電源零線相接，不得與防雷地線共用，使用三相五線制的供電時，其地線可以作防靜電地線。

b、 工作臺面、地板墊、坐椅、凳和其它導靜電的 ESD 保護措施均應通過限流電阻接到地線，腕帶等應通過工作臺頂面接地點與地線連接， 工作臺不可相互串聯接地。

c、 防靜電工作區接地系統，包括限流電阻和連接端子應連接可靠并具有一定載流能力，限流電阻阻值選擇應保證漏泄電流不超過 5mA，下限值取為 1 M Ω 。

6. 環境：空氣濕度的控制，小于60%時，須加強防靜電操作系統。工作臺面防靜電桌布良好接地，定期檢查有效性。

7. 電離器：不能有效地泄放靜電荷的場合，可采用電離器通過空氣中的正負離子來防止和中和元器件和其它物體上電荷 積累，電離能力大于250V/s。

8. 增濕：增濕器可使潮濕空氣流，防止靜電荷積累，此法不適；增濕后產生有害影響的場地。

9. 包裝：靜電敏感器件應采取保護性包裝；靜電敏感器件包裝器具必須采用防靜存放盒， 防靜電塑料袋。

1 0. 運輸、貯存 SSD必須放在防靜電容器 (箱、袋 )內，并用防靜電運輸工具(車)。庫房滿足防靜電操作系統要求，SSD須放防靜電容器內，貯運中要遠離靜電，電磁場或放射場的位置。

1 1 、SSD 元器件應分類拿放，靜電敏感符號符號符合 GJB1649 規定。

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