電子潔凈廠房裝修系統(tǒng)測(cè)試

2020-11-03 13:10 昆山清陽凈化系統(tǒng)工程有限公司

電子潔凈廠房裝修系統(tǒng)測(cè)試

隨著高科技電子相關(guān)產(chǎn)業(yè)之蓬勃發(fā)展，潔凈廠房裝修已成為電子半導(dǎo)體制程工業(yè)、精密切削、生化科技、醫(yī)療及食品工業(yè)等不可或缺之重要部分。

潔凈廠房裝修測(cè)試項(xiàng)目簡(jiǎn)述

FFU 風(fēng)速測(cè)試

目的：測(cè)量C/RHEPA 下方平均風(fēng)速是否合乎標(biāo)準(zhǔn)要求，以利C/R 內(nèi)Airflow 達(dá)到平行性及均一性。

測(cè)量點(diǎn)：每個(gè)1170* 1170mm HEPA 測(cè)4 點(diǎn)取其均值。測(cè)量步驟：a.預(yù)先調(diào)整馬達(dá)之轉(zhuǎn)速，使符合ULPA 之出風(fēng)速度。b.C/R 內(nèi)之FFU 全部運(yùn)轉(zhuǎn)，天花盲板應(yīng)全部蓋上，各區(qū)域隔間皆需完成。c.將風(fēng)速Sensor 固定于移動(dòng)支撐架上方，高度調(diào)整至距HEPA 下方 75MM 處。d.移動(dòng)Sensor 至待測(cè)HEPA 下方測(cè)量點(diǎn)位置，待穩(wěn)定后取5sec 風(fēng)速平均值。e.打印記錄值及計(jì)算平均值。

測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)：a.單點(diǎn)均值 0.35m/S±20%。b.每只HEPA 平均風(fēng)速0.35m/S±20%。

FFU 泄漏測(cè)試

目 的：檢測(cè)每只filter 過濾性能。

測(cè)試點(diǎn)：每只filter 下方約 2.5cm 位置以 5cm/sec 之速度移動(dòng)。

潔凈廠房裝修后測(cè)量步驟：a.C/R 內(nèi)之送風(fēng)系統(tǒng)全數(shù)運(yùn)轉(zhuǎn)，且建立正壓，內(nèi)部清潔完成后，循環(huán)運(yùn)轉(zhuǎn)24 小時(shí)以上。b.將PARTICLE COUNTER 暖機(jī)并完成基本參數(shù)設(shè)定。c.開始量測(cè)filter 下方之PARTICLE數(shù)量。掃描泄漏時(shí)，若該點(diǎn)連續(xù)出現(xiàn)particle 則判定為泄漏。掃描中若出現(xiàn)第一顆particle，應(yīng)停留該點(diǎn)判斷是否連續(xù)出現(xiàn)，若非連續(xù)則為HEPA 表面或環(huán)境之particle，如大于5 顆則該片重測(cè)。有泄漏之HEPA 在漏處貼上卷標(biāo)及數(shù)據(jù)域內(nèi)記錄泄漏、編號(hào)、位置。破損面積＜3%；長(zhǎng)度＜1.5”  可修補(bǔ)；大于此值則更換。

測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：每只filter 不得有泄漏。

潔凈廠房潔凈度測(cè)試

目 的：測(cè)量C/R內(nèi)之清凈度度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求。

測(cè)量點(diǎn)：a.量測(cè)高度為距地板1.0m；或特定之工作高度。b.各 區(qū)域量測(cè)點(diǎn)數(shù)： CLASS 10：每房間面積平方根取測(cè)量點(diǎn)；CLASS 100：每房間面積平方根取測(cè)量點(diǎn)；CLASS1000/10000：每房間面積  平方根取測(cè)量點(diǎn)測(cè)量。

測(cè)量步驟：a.C/R 內(nèi)之FFU 全數(shù)運(yùn)轉(zhuǎn)，且建立正壓，內(nèi)部清潔完成后，循環(huán)運(yùn)轉(zhuǎn)24 小時(shí)以上，且人員物料進(jìn)入C/R 需管制、清潔。b.將PARTICLE COUNTER暖機(jī)并完成基本參數(shù)定。c.將儀器測(cè)試管固定于三腳架上。d.統(tǒng)計(jì)平均值，判斷是否合乎無塵室之要求。

測(cè)試標(biāo)準(zhǔn) ：a.CLASS 10：≧ 0.3üm 小于 10 顆 /ft3 ； b.

CLASS100：≧0.5üm 小于100 顆/ft3 ；c. CLASS1000：≧0.5üm 小于 1000 顆 /ft3 d. CLASS 10000： particle size≧ 0.5üm 小于10000 顆/ft3。

潔凈廠房室內(nèi)靜壓測(cè)試

目的：測(cè)量無塵室對(duì)鄰室；無塵室對(duì)大氣之間壓差是否符合準(zhǔn)。

測(cè)量點(diǎn)：每ROOM 至少取1 點(diǎn)測(cè)量點(diǎn)。

測(cè)量步驟：a.必須完成風(fēng)速與氣密測(cè)試合乎設(shè)計(jì)要求；確認(rèn)自動(dòng)控制之MAU  及制程排氣系統(tǒng)開始正常運(yùn)作才可進(jìn)行。b.進(jìn)行量測(cè)時(shí)間內(nèi),門必須關(guān)閉及管制。c.C/R內(nèi)為高壓端，外氣或次等級(jí)之鄰室為低 壓d.   進(jìn)行量測(cè)前，儀器需先做現(xiàn)場(chǎng)歸零校正后再進(jìn)行測(cè)量。e.實(shí)際測(cè)量，量取數(shù)次，取平均值并記錄之。f.  不合規(guī)格者，通知施工組配合改善后重測(cè)。

測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：a.不同無塵室等級(jí)之壓差不小于+5pa。b.一般區(qū)域 與無塵室區(qū)域之壓差不小于+12.5pa。

室內(nèi)溫濕度測(cè)試

目的：測(cè)量C/R內(nèi)之溫度、相對(duì)濕度是否達(dá)到要求。

測(cè)量點(diǎn)：測(cè)量點(diǎn)為1 點(diǎn)/100m2 或2 點(diǎn)/ROOM。

測(cè)量步驟：a.潔凈廠房裝修空調(diào)系統(tǒng)在自動(dòng)控制狀態(tài)下，連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)24  小時(shí)以上。測(cè)量前，無塵室空調(diào)之試車調(diào)整需已完成。b.每個(gè)點(diǎn)的測(cè)量 時(shí)間為溫度 10 sec，濕度 10 sec。c. 測(cè)量時(shí)，人員應(yīng)避免直接碰觸Sensor，以免造成量測(cè)誤差。d.測(cè)量時(shí)，需等到Sensor   達(dá)穩(wěn)定后，才可取值。e.每一室至少取一點(diǎn)。

測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：依合約及標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范設(shè)計(jì)要求。

黃光 10 級(jí)區(qū)域溫度 22℃±1，其它溫度 22℃±2，微波區(qū)濕度

45%±5.LED 區(qū)50%±5。

噪音測(cè)試

目的：測(cè)量C/R內(nèi)之噪音產(chǎn)生值。

測(cè)量點(diǎn)：a.按房間面積為 1 點(diǎn)/40m2。b. 每個(gè)獨(dú)立房間皆需測(cè)量。c.量測(cè)點(diǎn)的高于無塵室地板上方1.0m。

測(cè)量步驟：a.依據(jù)測(cè)量點(diǎn)將噪音計(jì)架設(shè)完成及開始測(cè)量。b.每一 點(diǎn)之測(cè)量時(shí)間22sec 并讀取dB 平均值并記錄之。

測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)：噪音值按相關(guān)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。

照度測(cè)試

目的：測(cè)量C/R內(nèi)之照度是否合乎標(biāo)準(zhǔn)要求。

測(cè)量點(diǎn)：a.按房間面積/50m2 為 1 點(diǎn)。b. 每個(gè)獨(dú)立房間皆需測(cè)量。c.量測(cè)點(diǎn)的高于無塵室地板上方1.0m。

測(cè)量步驟：a.取照度儀于離地1.0M 處待測(cè)試數(shù)據(jù)穩(wěn)定值。b.測(cè)量及記錄測(cè)量值。c.計(jì)算每區(qū)域之平均照度。

測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：依合約規(guī)范設(shè)計(jì)要求。本工程照度應(yīng)按發(fā)包圖面布 置要求大于：600LUX，500LUX，400LUX，300LUX。

平行度測(cè)試

新風(fēng)及排風(fēng)測(cè)試

結(jié)論

經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)系統(tǒng)調(diào)整及實(shí)際測(cè)量，符合潔凈廠房裝修相關(guān)要求，取得業(yè)主認(rèn)可。