電子半導體凈化車間工程--昆山清陽凈化工程
社會信息化和互聯網正在對人類經濟和社會生活產生革命性影響, 而半導體產業則是互聯網和信息化的基礎和核心。 進入21世紀,信息產業已成為世界經濟中規模最大、發展最為迅猛的產業。2001年初在瑞士達沃斯召開的“世界經濟論壇年會”上,許多經濟學家認為,人類正在進入以信息網絡為核心的“新經濟”時代。 所謂“新經濟” 的概念, 源于“網絡經濟”的出現,而“網絡”是以計算機和通訊為依托的,其生存和發展的每一步都離不開半導體芯片技術的支持與更新。誰擁有了半導體產業,誰就擁有了世界的未來。 因此,發展半導體產業對我國來說具有重要的戰略意義。 但是, 我國半導體產業起步較晚, 不但技術水平落后, 在管理上也存在很大的空白。 在尋求技術革新的同時, 有效提高生產制造過程的管理水平,探索技術與管理相結合的發展道路, 將是積極推動我國半導體產業發展的有效途徑。
半導體潔凈廠房是公認生產管理最為復雜的工廠之一,因為其生產過程有許多異于傳統的工藝特性,例如工件再回流的現象、成批加工、作業等候時限、高良率要求、機臺高當機率等,以致于一般都將交期不準、 在制品過高、周期時間過長等問題歸咎于其生產管理的復雜度高及系統的不穩定。同時,晶圓制造屬于資本密集型產業,其設備投資龐大, 運作成本高昂,使得投資者極為重視投資效益,不愿任何一臺設備閑置而浪費產能,于是不斷追求所有設備的完全利用,其績效指標的追求除了交期、 WIP及周期時間外,還要求機臺的使用率。這些顯然已經不是技術層面上可以解決的問題,而是生產制造過程管理的問題 。
生產制造過程的管理按其內容可分為生產系統的性能評價、生產計劃和車間層控制。這幾個問題是相互關聯的,性能評價是評估現有系統(配置固定)的性能,而不是優化系統性能的某些指標,它常評價不同設備配置及瓶頸設備附加能力對生產線的影響,是生產計劃、車間層控制的重要輸入,也是優化系統配置的主要指導。 生產計劃一般指高層長期生產能力的安排和分配。車間層控制是生產計劃的細化和實現,它將基于能力的較長期計劃轉化為實際工件的實時加工序列。一般來說, 車間層控制有兩類決策任務: 一類是決定何時投入多少工件進入生產線,稱為投料策略,它涉及生產速率、生產能力現狀、實際定單情況、WIP情況等問題,常和實時調度處理統籌考慮。 另一類是安排生產線中各類工件在各類設備上的實際加工序列和開始時間,稱為實時調度策略, 它涉及實時設備狀況、實時WIP情況以及產品的工序流程。本文對半導體晶圓制造車間層控制的內容和方法作一介紹。
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