電子潔凈車間的空間規劃設計
電子潔凈車間空間管理是把設計概念用于合理地布置廠房里豎向的和橫向的公用設備和工藝設備以及管道、風管、電纜橋 架和其它的動力系統。空間管理概念貫穿整個設計和施工建造過程,通過各組成部分的路線和標高引導設計進程。控制施工安裝盡量 避免公用設施系統的各組成設備以及服務路線的沖突,為潔凈車間合理規劃設計提供理論和實踐依據。
1 .潔凈車間工程項目空間管理概述
整個工程項目分為主建筑廠房和輔助的動力房。各種動力都來自動力房 供給主廠房生產設備使用。管橋連接動力房和主廠房。管橋為各種動力系統的 主管道提供通道。支持區的標高:2層樓板下300inm是消防管道區域,在消防管 道區域下面450mm是二次配管區域,在二次配管區域下面700mm是南 北走向的支管區域。
2 .潔凈車間空間規劃設計
2.1主廠房和規劃設計
FAB包含兩個潔凈車間,分別在一層支持區和二層的TFT/FE區。潔凈車間的新風來自新風機房的主新風管,支管從主管上下來送新風到干盤管前面和回風 混合后再送到潔凈車間上方,然后空氣通過位于潔凈車間吊頂上的FFU高效過濾器 做最終的過濾后進入潔凈車間。回風通過干盤管冷卻和來自新風機主風管的新 風混合。整個氣流組織過程包含這兩個潔凈車間。
MODULE包含兩個潔凈車間。一個是一層的封裝、灌裝、劃線、測試和包裝區 域,潔凈室的新風來自新風機房的主新風管。支風管從主風管下來送新風到循 環風機前面和回風混合后經潔凈室吊頂上的HEPA高效過濾器進入潔凈室。另 一個是二層MODULE區,潔凈室氣流組織概念和FAB潔凈室相似。
2.2動力系統分布規劃
動力系統供應主要在FAB潔凈室的支持區。每個動力系統包含主路和主支路,在這個潔凈車間里,動力系統被分為5個主支路。支路是從主支路到生產設備。主路南北走向位于支持區兩邊。
2.3潔凈車間的排風系統規劃
潔凈車間的排風集中在支持區的風管內,然后穿過西邊的墻到服務建筑的 屋頂的主風管。VOC系統、CVD系統、酸排風系統、堿排風系統的洗滌塔位于服務建筑屋頂。FAB潔凈車間的排煙風管位于潔凈車間吊頂上方,匯集到主排煙風管后再接到位于服務建筑屋頂的排煙風機。在回風通道里,當排煙風管穿過兩個筑及濱水界面提出控制原則,以形成富有濱河特色的城市景觀形象
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