百級潔凈車間裝修公司對通風設備噪聲的控制

2020-10-14 08:41 昆山清陽凈化系統工程有限公司

百級潔凈車間裝修公司對通風設備噪聲的控制

超大規模集成電路技術的迅速發展，促使工藝對圓片生產環境提出更高的要求。尤其是隨著集成度的增加，圓片加工次數的增多，圓片受污染的可能性也在成倍增加。加之圓片的加工尺寸已進入亞微米時代，加工環境受控微粒的特征尺寸已隨之細化，圓片成品率對環境潔凈度的依賴性日趨加強。據分析，圓片的成品率與圓片的缺陷密度息息相關，而圓片的缺陷密度又與空氣中的粒子個數有關。因此，控制生產環境中特征尺寸的微粒個數顯得十分重要。本文對百級潔凈車間通風設備噪聲控制進行了探討。

什么是潔凈車間技術？，可以把潔凈車間技術分成三大范疇。這些范疇與潔凈車間用戶對技術的應用是對應的， 即從他決定建造潔凈車間開始，最后到潔凈車間運行為止。 

百級潔凈車間通風設備的選擇 

其中，Z 為局部阻力損失，P a；ξ為局部阻力系數；υ 為空氣流速，m/s；ρ為空氣密度，k g/m3。 

高效過濾器的實際壓力損失為額定壓力損失的 0.4322 倍，即初阻力為 34.7 Pa，終阻力為 69.4 Pa。所以，在選擇循環風機時，在滿足了風量要求的前提下，風機全壓可大幅度減少，自然風機噪聲及耗電量也就降低了。

潔凈車間控制噪音的方法：

控制設備噪聲首先應從聲源上著手，設計時應選用低噪聲設備。在某些情況下，由于技術或經濟的原因而難于做到時，則應從噪聲傳播途徑上來采取降噪措施。例如，把高噪聲工藝設備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內。必須置于潔凈室內的高噪聲設備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內有些潔凈室將機械泵一類高噪聲設備置于潔凈室外套間，或技術夾道或服務區內，潔凈室噪聲有明顯的降低。 

潔凈車間的靜態噪聲主要來源于凈化空調系統和局部凈化設備運行噪聲，靜態噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數等因素有關。但關鍵在于凈化空調系統的合理布置及合理的降噪措施。