電子潔凈車間凈化安裝內系統除了通稱的空調系統之外,制程設備也包括在內,本節將對該二系統之運轉維護及保養做一概略說明。
電子車間凈化安裝內之生產制造設備注意之重點有三:
1. 生產設備之選擇、布置與保養:
a. 要選用發塵性較少的生產設備及相關設備,尤其須注意活動部分之發塵。
b. 應選擇塵埃之影響較小的生產設備或接口設備。
c. 生產用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因,故應配備過濾裝置。
d. 規劃各設備之配置空間時,事先宜考慮不易積累微塵之結構,規劃各并以容易清潔為原則。
e. 真空泵等容易產生污染物的這類設備,應設置在電子車間凈化安裝外面或回風區,并加裝排氣管線排氣。
f. 設置給水管線、氣體管線和電氣系統時,其構造須考慮到容易清潔, 不易積累污染物。
g. 生產及相關設備應定期清掃,以避免微塵之堆積。
h. 應加強注意室內的溫濕度控制,避免因濕度之不當造成結露生銹。
i. 當設備維修時易產生微塵粒子,故維修時盡量于清潔室外進行,并加隔離柵隔離。
j. 對于施工或維修之廠商,應告知進出電子車間凈化安裝之各項規定,且負責工程師應隨侍在側監工。
k. 應有電子車間凈化安裝專用工具組,但不得帶出電子車間凈化安裝外使用。
l. 規劃空間時若能臨近電子車間凈化安裝設立一間維修和設備保養手冊置放室,將是一理想之規劃。
2. 生產設備之防塵措施:
a. 磨損、切削均為發生微塵之原因,故需將發塵部分掩蓋之。
b. 易產生塵埃之設備,若能的話應布置于風尾地點。
c. 在操作時,盡量減少接觸零件或產品。
d. 不得有太大或不必要的操作動作,以免卷起附近之灰塵。
e. 各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品于進入生產設備前應有過濾設備。
f. 為不使氣體或液體滯留,造成微污染,故管路配置應有旁路閥之設置。
3. 自動化與無塵化:
a. 設立自動化傳送系統,可減少人員方面所帶來的污染,唯費用相當昂貴,須詳加評估。
b. 建立管制項目如進入電子車間凈化安裝人員的資格限定,電子無塵車間安裝作業人員作業規則,電子車間凈化安裝管理規則等,這些規則已在前面章節敘述,此處不再說明。
在電子車間凈化安裝之維護管理方面,可分三部分加以說明:
1. 建筑物之維護管理:
a. 建筑物內定期檢查清潔。
b. 地板之清掃管理及損壞更新。
c. 隔間墻及天花板檢查清潔和封補。
d. 窗戶及門之保養等。
2. 環境測定與管理:
電子車間凈化安裝內之運轉環境狀況如溫、濕度及微塵粒子數應每日定期量測,以確實掌握質量,若有數據異常,可立即做緊急處理。
3. 防塵空調設備之維護管理:
a. 溫、濕度及塵埃濃度管理,在前面以述及,唯其量測儀器應做定期校正檢驗,若有設備移動或施工時須做局部測量。
b. 過濾網之管理:定期檢查及更換
c. 空氣調節器管理:定期檢查隔板接縫及內部污染狀況,冷熱盤管是否有腐蝕現象。
d. 送風機之管理:定期檢查送風機運轉狀況。
e. 風管及出風口之管理:檢查風管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。
f. 測試及量測儀器管理:定期校正及保養。
g. 室內壓力管理:連續監視室內壓力記錄,以維持正壓為基準。
h. 冷凍主機、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理:定期檢查保養及記錄運轉狀況及水質變化分析,以調整加藥量等。
i. 電子車間凈化安裝停止運轉再開機要點管理:啟動后立即進行微塵粒子之測試,須電子車間凈化安裝恢復穩定正常時再開始作業。
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