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隨著微電子、集成電路工業(yè)的飛速發(fā)展,對(duì)潔凈廠房的空氣潔凈度要求越來越高。在設(shè)計(jì)過程中電氣專業(yè)對(duì)配電設(shè)備及燈具的選型及安裝方式要考慮空氣潔凈度的要求,在配電設(shè)備及燈具的布置上要與其它專業(yè),尤其是暖通專業(yè)密切配合,做到不易積灰、不影響氣流流型,保證潔凈室的空氣潔凈度。? ????微電子工業(yè);潔凈技術(shù);設(shè)計(jì)電子生產(chǎn)廠房,潔凈車間成為其主要的生產(chǎn)車間。結(jié)合某微電子廠房的空調(diào)設(shè)計(jì),潔凈廠房的設(shè)計(jì),對(duì)潔凈區(qū)的溫度、濕度、潔凈度、正壓值、運(yùn)行分別進(jìn)行分析。
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