電子潔凈廠房裝修系統測試

2020-11-03 13:10 昆山清陽凈化系統工程有限公司

電子潔凈廠房裝修系統測試

隨著高科技電子相關產業之蓬勃發展，潔凈廠房裝修已成為電子半導體制程工業、精密切削、生化科技、醫療及食品工業等不可或缺之重要部分。

潔凈廠房裝修測試項目簡述

FFU 風速測試

目的：測量C/RHEPA 下方平均風速是否合乎標準要求，以利C/R 內Airflow 達到平行性及均一性。

測量點：每個1170* 1170mm HEPA 測4 點取其均值。測量步驟：a.預先調整馬達之轉速，使符合ULPA 之出風速度。b.C/R 內之FFU 全部運轉，天花盲板應全部蓋上，各區域隔間皆需完成。c.將風速Sensor 固定于移動支撐架上方，高度調整至距HEPA 下方 75MM 處。d.移動Sensor 至待測HEPA 下方測量點位置，待穩定后取5sec 風速平均值。e.打印記錄值及計算平均值。

測量標準：a.單點均值 0.35m/S±20%。b.每只HEPA 平均風速0.35m/S±20%。

FFU 泄漏測試

目 的：檢測每只filter 過濾性能。

測試點：每只filter 下方約 2.5cm 位置以 5cm/sec 之速度移動。

潔凈廠房裝修后測量步驟：a.C/R 內之送風系統全數運轉，且建立正壓，內部清潔完成后，循環運轉24 小時以上。b.將PARTICLE COUNTER 暖機并完成基本參數設定。c.開始量測filter 下方之PARTICLE數量。掃描泄漏時，若該點連續出現particle 則判定為泄漏。掃描中若出現第一顆particle，應停留該點判斷是否連續出現，若非連續則為HEPA 表面或環境之particle，如大于5 顆則該片重測。有泄漏之HEPA 在漏處貼上卷標及數據域內記錄泄漏、編號、位置。破損面積＜3%；長度＜1.5”  可修補；大于此值則更換。

測試標準：每只filter 不得有泄漏。

潔凈廠房潔凈度測試

目 的：測量C/R內之清凈度度是否達到標準要求。

測量點：a.量測高度為距地板1.0m；或特定之工作高度。b.各 區域量測點數： CLASS 10：每房間面積平方根取測量點；CLASS 100：每房間面積平方根取測量點；CLASS1000/10000：每房間面積  平方根取測量點測量。

測量步驟：a.C/R 內之FFU 全數運轉，且建立正壓，內部清潔完成后，循環運轉24 小時以上，且人員物料進入C/R 需管制、清潔。b.將PARTICLE COUNTER暖機并完成基本參數定。c.將儀器測試管固定于三腳架上。d.統計平均值，判斷是否合乎無塵室之要求。

測試標準 ：a.CLASS 10：≧ 0.3üm 小于 10 顆 /ft3 ； b.

CLASS100：≧0.5üm 小于100 顆/ft3 ；c. CLASS1000：≧0.5üm 小于 1000 顆 /ft3 d. CLASS 10000： particle size≧ 0.5üm 小于10000 顆/ft3。

潔凈廠房室內靜壓測試

目的：測量無塵室對鄰室；無塵室對大氣之間壓差是否符合準。

測量點：每ROOM 至少取1 點測量點。

測量步驟：a.必須完成風速與氣密測試合乎設計要求；確認自動控制之MAU  及制程排氣系統開始正常運作才可進行。b.進行量測時間內,門必須關閉及管制。c.C/R內為高壓端，外氣或次等級之鄰室為低 壓d.   進行量測前，儀器需先做現場歸零校正后再進行測量。e.實際測量，量取數次，取平均值并記錄之。f.  不合規格者，通知施工組配合改善后重測。

測試標準：a.不同無塵室等級之壓差不小于+5pa。b.一般區域 與無塵室區域之壓差不小于+12.5pa。

室內溫濕度測試

目的：測量C/R內之溫度、相對濕度是否達到要求。

測量點：測量點為1 點/100m2 或2 點/ROOM。

測量步驟：a.潔凈廠房裝修空調系統在自動控制狀態下，連續運轉24  小時以上。測量前，無塵室空調之試車調整需已完成。b.每個點的測量 時間為溫度 10 sec，濕度 10 sec。c. 測量時，人員應避免直接碰觸Sensor，以免造成量測誤差。d.測量時，需等到Sensor   達穩定后，才可取值。e.每一室至少取一點。

測試標準：依合約及標準規范設計要求。

黃光 10 級區域溫度 22℃±1，其它溫度 22℃±2，微波區濕度

45%±5.LED 區50%±5。

噪音測試

目的：測量C/R內之噪音產生值。

測量點：a.按房間面積為 1 點/40m2。b. 每個獨立房間皆需測量。c.量測點的高于無塵室地板上方1.0m。

測量步驟：a.依據測量點將噪音計架設完成及開始測量。b.每一 點之測量時間22sec 并讀取dB 平均值并記錄之。

測量標準：噪音值按相關潔凈室標準。

照度測試

目的：測量C/R內之照度是否合乎標準要求。

測量點：a.按房間面積/50m2 為 1 點。b. 每個獨立房間皆需測量。c.量測點的高于無塵室地板上方1.0m。

測量步驟：a.取照度儀于離地1.0M 處待測試數據穩定值。b.測量及記錄測量值。c.計算每區域之平均照度。

測試標準：依合約規范設計要求。本工程照度應按發包圖面布 置要求大于：600LUX，500LUX，400LUX，300LUX。

平行度測試

新風及排風測試

結論

經過現場系統調整及實際測量，符合潔凈廠房裝修相關要求，取得業主認可。