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電子廠無(wú)塵車間內(nèi)防靜電要求-江蘇凈化工程公司
一、 靜電防護(hù)的基本原則
a、 抑制靜電荷的積聚;
b、 迅速、安全、有效地消除已經(jīng)產(chǎn)生的靜電荷。
二、 防靜電工作區(qū)場(chǎng)地
1 、電子凈化車間地面材料
a、 禁止直接使用木質(zhì)地板或鋪設(shè)毛、麻、化纖地毯及普通地板革。
b、 應(yīng)該選用由靜電導(dǎo)體材料構(gòu)成的地面,如防靜電活動(dòng)地板或在普通地面上鋪設(shè)防靜電地墊,并有效接地。
c、 允許使用經(jīng)特殊處理過(guò)的水磨石地面,如事先敷設(shè)地線網(wǎng)、滲碳或在地面噴涂抗靜電劑等。
2 、 接地
a、 防靜電系統(tǒng)必須有獨(dú)立可靠的接地裝置,接地電阻一般應(yīng)小于10Ω,埋設(shè)與檢測(cè)方法可參考 GBJ97的要求。
b、 防靜電地線不得接在電源零線上,不得與防雷地線共用。
c、 使用三相五線制供電,其大地線可以作為防靜電地線(但零線、地線不得混接)。
d、 接地主干線截面積應(yīng)不小于100mm2;支干線截面積應(yīng)不小于6mm2;設(shè)備和工作臺(tái)的接地線應(yīng)采用截面積不小于1.25mm2 的多股敷塑導(dǎo)線,接地線顏色以黃綠色線為宜。
e、 接地主干線的連接方式應(yīng)采用釬焊。
f、 無(wú)塵車間防靜電設(shè)備連接端子應(yīng)確保接觸可靠,易裝拆,允許使用各種夾式連接器,
3 、 天花板材料
天花板材料應(yīng)選用抗靜電型材料制品,一般情況下允許使用石膏板制品,禁止使用普通塑料制品。
4 、 墻壁面料
墻壁面料應(yīng)使用抗靜電型墻紙,一般情況下允許使用石膏涂料或石灰涂料墻面,禁止使用普通墻紙及塑料墻紙。
5 、 濕度控制
a、 在不對(duì)產(chǎn)品造成有害影響前提下,允許使用增濕設(shè)備噴灑制劑或水
a、 進(jìn)入防靜電工作區(qū)或接觸SSD的人員應(yīng)穿防靜電工作服,防靜電工作服面料應(yīng)符合GB12014規(guī)定。
5、 防靜電工作鞋
進(jìn)入防靜電工作區(qū)或接觸SSD的人員應(yīng)穿防靜電工作鞋,防靜電工作鞋應(yīng)符合GB4385 的有關(guān)規(guī)定。一般情況下允許穿普通鞋,但應(yīng)同時(shí)使用導(dǎo)電鞋束或腳跟帶。
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