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電子千級凈化無塵車間設計方案
1工程概況
蘇州某電子EPC總承包項目中的一個典型凈化無塵車間，車間及工藝布局,總面積 1060 m2,凈化無塵間凈高3.0 m,建筑層高7.0 m，潔凈等級為1000級(@ 0.5 pm),溫濕度要求： (21±2) °C, (55±10) %。工藝設備較多，有大量熱排風，無工藝冷卻水。
2系統計算
2.1工藝設備負荷計算
本工藝設備均為電熱設備，散熱量
Qs = 1000 nAn2n3n4xN
式中：％為同時使用系數，一般可取0.5?1.0； n2 為利用系數，一般可取0.7-0.9; %為小時平均實 耗功率與設計最大功率之比，一般可取0.5； n,為 通風保溫系數，設備無保溫有局部通風時一般可取 0.4-0.6,無保溫無局部排風時一般可取0.8~1.0。 根據工藝設備要求各設備散熱量見表1。
表1工藝設備散熱量
設備名稱 | 數 量 | 功率 (kW) | "2 | ?3 | 葬4 | 單臺 散熱量 (kW) | 小計 散熱量 (kW) | |
曝光機 | 30 | 4.8 | 1 | 0.8 | 0.5 | 0.6 | 1.2 | 34.6 |
真空干膜機 | 28 | 15.24 | 1 | 0.8 | 0.5 | 0.6 | 3.7 | 102.4 |
高壓艙 | 3 | 4 | 1 | 0.8 | 0.5 | 1 | 1.6 | 4.8 |
熱壓干膜機 | 3 | 2.5 | 1 | 0.8 | 0.5 | 0.6 | 0.6 | 1.8 |
VIGOR | 4 | 1.5 | 1 | 0.8 | 0.5 | 1 | 0.6 | 2.4 |
合計 | 146.0 | |||||||
2.2空調冷負荷計算
表2空調冷負荷
房間參數 | 夏季散熱量 | |||||||||||
房間名稱 | 面積 | 吊頂高度 一 | 房間體積 | 溫度 | 相對濕度 | 潔凈度 | 人數 | 顯 熱 | T-藝設備發熱 | 圍護結構傳熱 | 照明傳熱 | 總熱 量 |
m | m， | C | % | kW | kW | kW | kW | kW | ||||
更 | 40 | 3 | 120 | 15-28 | / | / | 0 | 0 | 0 | 1 | 1.4 | 2.4 |
5 | 40 | 3 | 120 | 15 ?28 | / | 8 | 0 | 0 | 0 | 1 | 1.4 | 2.4 |
黃光區 | 106 0 | 3 | 318 0 | 21 ±2 | 55 + 10 | 6 | 260 | 20.8 | 146 | 26.5 | 37.1 | 230.4 |
3 | 235.2 | |||||||||||
2.3系統送風量計算
表3系統送 | 風量 | |||||||||||
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