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凈化車間施工驗收檢測方法和要求

2021-04-24 08:30 昆山清陽凈化系統工程有限公司

凈化車間施工驗收檢測方法和要求

為了保證凈化車間的日常運行能夠滿足其設計標準,定期的檢測和維護是十分必要的,對凈化車間的檢測一般有:過濾器撿漏、靜壓差檢測、風量風速檢測和潔凈度檢測。

1、 過濾器檢漏:

目的:為了確定無塵室內安裝過濾器的氣流速度。

儀器:風速儀

檢測方法: 參考標準(文件) : ISO 14644-3 (2005) , B. 4. 2

1>. 每塊過濾器或風機單元組合分成 2~4 個測試區域。“2 英尺 X 4 英尺” 的過濾器分成 2 個測試區域; “4 英尺 X 4 英尺” 的過濾器分成 4 個測試區域。

2>. 檢測儀器安裝 VelGrid 測試架。

3>. 測試架放置到待測試區域的中間,其支撐腳輕輕接觸過濾器出風面, 保持測試架邊緣與過濾器邊緣平行, 測試點到過濾器出風面的距離大約為 15~30 厘米。

4>. 每一測試區域取一個穩定讀數并記錄。

判定標準:

過濾器國標統一驗收標準,0.36~0. 54m/s(米/秒),若過低則影響整個無塵室送風量, 偏高一點無太影響,但決不能偏低。 否則失去意義, 且塵粒測試很難通過。

一般對于高效過濾器,用掃描法對過濾器邊框和全斷面進行檢漏。掃描法分為檢漏儀法和粒子計數器法兩種。

對于超高效過濾器,其撿漏方法有凝結核計數器法和激光粒子計數器法兩種。使用檢漏儀撿漏時要注意以下幾點:

a. 被檢漏過濾器必須已測過風量,在設計風速的 80-120%之間運行。

b. 在同一送風面上安有多臺過濾器時,在結構上允許的情況下,宜用每次只暴露

1 臺過濾器的方法進行測定。

c. 當幾臺或全部過濾器必須同時暴露在氣溶膠中時,為了對所有過濾器造成均勻混合,宜在風機吸孜端或這些過濾器前方支干管中引入檢漏用氣溶膠,立即在受檢過濾器的正前方測定上風側濃度。

d. 對于高效過濾器,當檢漏儀表為對數刻度時,上風側氣溶膠濃度應超過儀表最小刻度的104 倍。(歡迎大家使用中建南方標準化空氣過濾器,安裝,維護簡單)

2、 風量風速檢測:

1>. 風量風速檢測必須首先進行, 凈化空調各項效果必須是在設計的風量風速條件下獲得。

2>. 風量檢測前必須檢查風機運行是否正常, 系統中各部件安裝是否正確, 有無障礙(如過濾器有無被堵、 擋) , 所有閥門應固定在一定的開啟位置上, 并且必須

實際測量被測風口,風管尺寸。

目的: 驗證無塵室系統在無塵室內維持規定的空氣壓差的能力。

儀器: 靜壓表 (或萬用風速儀壓差檔)

檢測方法: 參考標準(文件) : ISO 14644-3 (2005) , B. 5

a. 在進行壓差測試前, 確定無塵室送風量和設施平衡已經在規定范圍內。

b. 在整個測試期間所有進入無塵室及參考區域的門都關閉良好。

c. 如果無塵室內被分割成不止一個封閉潔凈區, 則需測量最里面房間與最緊臨房間之間的壓差。這種測量一直持續至測量出最后個封閉區與周圍附屬環境之間與室外環境之間的壓差。

d. 測量并記錄無塵室和臨近房間的壓差。

判定標準:

不同級別的無塵室之間,高級別的壓差通常至少要比低級別大 5Pa 以上方可;從無塵室直接向外的壓差必須是凈化車間內大于外部環境 10Pa 以上方可。

3、 靜壓差檢測:

目的: 確認過濾器系統安裝良好或在使用過程中沒有發生泄漏。

儀器: 塵粒計數器 (配檢漏探測頭)

檢漏掃描方法: 參考標準(文件) : ISO 14644-3 (2005) , B. 6. 3;

1>. 測試前確認過濾器已經通過風速檢測。

2>. 測試過濾器上游 0. 3um 及更大粒徑的塵粒濃度。

3>. 檢測取樣頭來回掃描移動速度大約為 1. 5cm/s。

4>. 檢測取樣頭到過濾器出風面或過濾器框架的距離大約為 3 厘米。

5>. 掃描應覆蓋每塊過濾器下風向整個表面, 每個過濾器的周邊、 過濾器框與安裝架構造之間的封條, 包括其結合部。

判定標準:

在掃描時, 如果顯示出有等于或大于限值的泄漏, 表現出規定的泄漏特征, 則應把取樣頭停在泄漏處復測。 如顯示出仍等于或大于限值的泄漏, 可判定過濾器該處有泄露。 如果沒有觀測到任何超過限值的泄露, 則判該過濾器無泄露。

1、 檢測靜壓差時要關閉所有的門進行, 并從內之外逐個房間進行。

2、 對于潔凈度高于100級潔凈車間, 還應測定在門開啟狀態下,離門口 0. 6m 處的室內側工作面高度的粒子數。

4、 潔凈度檢測:

測定潔凈度的最低限度采樣點數按規定確定, 每點采樣次數不少于 3 次, 各點采樣次數可以不同。

目的: 確定無塵室內由基本無塵室機械和電子系統產生的噪聲水平。

儀器: 聲級計檢測要求及方法 : 參考標準(文件) --GBJ 122-88

1>. 測試之前完成空調系統平衡調節。

2>. 測試前確定所有風機過濾器單元和空調系統設備在正常進行。

3>. 將無塵室分成不大于 40 平方米的測試單元。

4>. 測試儀放置在離地板 1. 2 米高度, 且感應器垂直向上。

5>. 在每一個測試點測量并記錄讀數。

5、 照度檢測 ( Illuminance )

目的: 確定潔凈室內工作高度的照明強度。

儀器: 照度計

檢測方法: 參考標準(文件) --GB/T 5700 (2008)

1>. 測試之前所有熒光燈已累計點亮 100 小時。

2>. 測試前所有熒光燈已連續點亮 40 分鐘以使溫度穩定。

3>. 將無塵室分成 “3 米 X 3 米” 的測試單元。 .

4>. 測試儀感應器朝上放置在每一個測試單元中間, 在 0. 8 米的高度。 測點距離墻壁 1. 0 米

判定標準:

根據國標要求常規室內工作環境照明度需在 800~1200 Lux ( 勒克斯)。

6、 防靜電地板檢測 (Floor static-dissipative property)

目的: 驗證無塵室防靜電地板的靜電消散性能滿足規范控制要求的能力。

儀器: 兆歐表

檢測方法: 參考標準(文件) --ISO 14644-3 (2005) , B. 10. 2. 1. 2.

1>. 測試之前清潔電極和地板表面。

2>. 對每一塊待測地板, 將接儀器正極的 5 磅電極放在測試點, 接儀器負極的導線接工廠公共接地端。 按“測試” 鍵測量地板接地電阻并記錄測量結果。

3>. 測量并記錄環境溫度、 濕度。

判定標準:

一般新裝的防靜電地板初次測試規格要求 2. 5X104~2. 5X106 歐姆;對于防靜電要求不高的一般至少要≦1. 0X109 歐姆的最低標準, 否則不能作為防靜電地板使用。

7、 溫、 濕度檢測 (Temperature & Humidity)

目的: 驗證無塵室空調系統在無塵室內維持其空氣溫度、 濕度在規定范圍內的

能力。

儀器: 溫濕度計( 或 萬用風速儀溫濕度檔)檢測方法: 參考標準(文件) -- ISO 14644-3 (2005) , B. 8 &B. 9

1>. 該測試應在空調系統運轉及穩定至少 1 小時后進行。

2>. 將無塵室分成不同的測試單元。 測試單元的大小應按客戶和供應商間的協商同意選定測試點應不少于兩個。

3>. 測試感應器應置于工作高度, 且離天花、 墻壁和地板的距離不少于 300mm。

4>. 測試感應器放置的位置選擇應考慮熱源存在的影響。

5>. 測試時間應至少為 5 分鐘, 至少每分鐘取一個讀數并記錄。

判定標準:

根據客戶提供的潔凈廠房設計規范范圍來判定。 比如中高端行業一般要求:溫度 23+2oC, 濕度 45%~65%。

8、 塵粒度檢測 ( Airborne particle counts )

目的: 測量無塵室塵粒濃度, 并確定其與 ISO 14644-3 (2005) , B. 1 規范要求的符合性。

儀器: 塵粒計數器

檢測方法: 參考標準(文件) : ISO 14644-3 (2005) , B. 1

1>. 測試前確認影響無塵室或無塵區域運轉完整性的所有部分都已完成并

按設計性能規范運轉。

2>. 將無塵室劃分成滿足以下要求的不同測試單元:最少測試點數量為: 以平方米為單位的無塵室面積的平方根(入到整數)。

3>. 取樣頭豎直向上放置。

4>. 設置粒子計數器的取樣速率為 1 立方英尺每分鐘, 取樣時間為 1 分鐘。

5>. 在每個測試單元中間至少取一個樣并記錄相應讀數, 取樣頭離地板的高度為約 0. 8 米。 與客戶協商同意, 記錄 0. 5um 和更大尺寸粒子濃度的讀數。

9、 判定標準:

進行此項測試時, 無塵室內應保持空態或靜態, 即在完成其它相關測試和施工之后.不同級別環境對塵粒度控制規格不同: 指每立方英尺測試體積里,注: 空態測試結果=實測值 X10%

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